装置 Equipment

多彩な装置をご用意しています。

ウェハマウンター RAD-2600F/12 (300㎜フルオートリマウンター)

RAD-2600F/12
  1. 1.同一テーブルでのウェハリマウント

    ウェハにマウントされていたテープをカットした後、同一テーブル上で新しいテープを貼付することが可能。また、テープカット~リマウントの間にテーブルの吸着を解除することが無いため、ウェハ破損のリスクが低減され、薄型ウェハ(30μm以上)の対応が可能です。

  2. 2.6軸ロボットテープカット

    カット半径、カット速度、カット深さ、カット角度、カッターヒーター(90℃対応)を自由に調整することによって、最適なテープカットが可能です。

  3. 3.様々なリマウント方式に対応可能

    【標準仕様】12inchフレーム→12inchフレーム、
    【オプション仕様】8inchフレーム→8inchフレーム、8inchフレーム→12inchフレーム

  4. 4.ダブルロードポート標準搭載

    ワークの供給/収納で別々のロードポートを使用可能です。

オプション

  • ホストコミュニケーション機能
    通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
    ソフト:GEM準拠
  • ダイシングテープ
    インラインプリカット
  • ビジョンシステム
    (ウェハIDリーダー&バーコード貼付システム)

対応テープ

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