装置 Equipment

多彩な装置をご用意しています。

ウェハマウンター RAD-2512F/12 (フルオート真空マウンター)

RAD-2512F/12
  1. 1.真空下でのプリカットテープマウント機能を搭載

    ローラー方式での貼りつけが困難な裏面凹凸を有するウェハに対して、最適な貼りつけが行えます。

  2. 2.ウェハ表面非接触でのウェハマウントを実現

    ウェハを保持するテーブルを独自方式とすることで、表面非接触でのウェハマウントが可能です。

  3. 3.裏面非接触ウェハハンドリング方式を採用

    パワーデバイスやTSVなどの裏面処理されたウェハに対し、裏面非接触でウェハを搬送できるため、接触による汚染がありません。

オプション

  • ホストコミュニケーション機能
    通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
    ソフト:GEM準拠
  • ビジョンシステム
  • ダイシングテープ
    インラインプリカット
  • 300mm対応

対応テープ

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