装置 Equipment

多彩な装置をご用意しています。

BG用テープラミネーター RAD-3520F/12 (300mmフルオートBG用テープラミネーター)

RAD-3520F/12

ベストセラー機種の「RAD-3510F/12」の機能を拡充し、高性能・省スペース化を実現。

  1. 1. ダブルロードポート標準搭載
  2. 2. FOUPオープナー/ウェハマッピング機能標準搭載
  3. 3. 装置の専有面積を約30%縮小
  4. 4. 70枚/hの高い生産能力を実現
    さらに、高速仕様オプションで最大100枚/hを実現
  5. 5. テープ1巻当たりのウェハ処理枚数を最大16%向上
    ※テープが100m巻き、ウェハサイズが300mm(12インチ)径の場合
  6. 6. 多彩なオプション機能を搭載可能
    ESD対策、各種クリーニング機能、自動カッター交換など
  7. 7. CE/KCマーキング、SEMI S2/S8準拠

オプション

  • 各種クリーニング機能
  • 自動カッター交換機能
  • 静電気放電(ESD)
    (Electro-Static Discharge)対策機能
  • ホストコミュニケーション機能
    通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
    ソフト:GEM準拠

対応テープ

動作プロセス

動作プロセス
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  1. A.ウェハ供給・検索・取り出し

    搬送用カセット内のウェハをスキャニングにより検出。その結果を基に多軸ロボットでウェハを取り出し、アライメント部に搬送します。

  2. B.ウェハアライメント

    ウェハはVノッチまたはオリフラを基準に、外周を非接触方式でセンタリングのうえ、貼付テーブル上に搬送します。

  3. C.BG用表面保護テープ貼付

    ロール to ロール方式で、プレスローラーによりBG用表面保護テープをラミネートします。最新のTTC機構により、低テンションでのラミネートを実現します。

  4. D.テープカッティング

    3次元(x、y、θ)動作制御により、カッターナイフをウェハ外周に沿って移動させてテープをカットします。

  5. E.残テープ処理

    切り取られた残テープをロール状に巻き取ります。

  6. F.ウェハ収納

    ウェハをロボットでカセットに収納します。

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