装置 Equipment

多彩な装置をご用意しています。

UV照射装置 RAD-2010F/12 (300mmフルオートUV照射装置)

RAD-2010F/12
  1. 1.コンパクトで高スループット

    ローダ&アンローダを一体型した300mm、200mmウェハ対応マシン。一体型によるマシンサイズのコンパクト化と、2系統のワークパスラインによる高スループット化を実現しました。

  2. 2.ハイクオリティー&ハイパフォーマンス

    UV硬化型ダイシングテープのリーディングカンパニーが開発した高性能マシンです。高出力UVランプによる照度と光量の最適化、ウェハ処理ごとの光量チェック、酸素阻害を防ぐ環境でのUV照射などの機能*により、テープの機能をフルに発揮します。
    *UV硬化を阻害する酸素を排除するため、ウェハチャンバーに窒素を充填し、UV照射します。

  3. 3.快適オペレーション&セーフティー

    使いやすさを高める大型タッチパネルを採用。マシンの操作と整備の安全性は、SEMI安全性ガイドラインに基づき、設計と組立段階から充実を図りました。
    CEマーキング対応

  4. 4.アセンブリー工程のFA化

    ホストコミュニケーション機能、さらにインラインシステムを組み込むことにより、トータル的なプロセスのFA(Factory Automation)化を実現します。

オプション

  • ホストコミュニケーション機能
    通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
    ソフト:GEM準拠
  • レシピ選択用バーコードリーダー
  • リングフレームID
    読み取り用バーコードリーダー
  • ダブルローダ&アンローダ

対応テープ

動作プロセス

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  1. A.ワーク供給、検索、取り出し

    カセット内のワークは、収納状態の自動検索後、アライメント部に搬送されます。

  2. B.照射準備

    アライメントされたワークは、搬送アームの下部パスラインを移動してチャンバー内に収納され、照射開始位置へ移動します。このときにチャンバー内に窒素が充填されます。

  3. C.UV照射

    チャンバー内のワークは、UVランプの上を移動し均一に照射されます。

  4. D.収納待機

    照射を完了したワークは、チャンバーおよび搬送アームの上部パスラインを移動し、アライメント上部で待機します。

  5. E.ワーク収納

    次ワークをチャンバーへ供給後、待機していたワークはカセットへ収納されます。

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