装置 Equipment

多彩な装置をご用意しています。

ウェハマウンター RAD-2500m/8 (200mmセミオートウェハマウンター)

RAD-2500m/8
  1. 1.プリカットテープのセミオートマウンター

    プリカットテープを使用するので、操作は簡単。ウェハとフレームをセットするだけで、全自動でダイシングテープを貼り付けます。

  2. 2.マニュアルにはセーフティーが必要

    カッターを使わないので、安全性も抜群。テープカットの工程を省くことにより、能率もアップします。

  3. 3.確実に貼り付けるためTTC*方式を採用

    テープテンションをコントロールしながら、フレームに貼り付けるTTC方式を採用。気泡の浸入を防ぎ、かつ後工程に最適なテンションが得られます。
    *TTC(Tape Tension Control)方式:マイコンによりテープテンションをコントロールする機能で、使用テープとウェハの仕様に合わせたテープラミネートを可能にします。フルオートマシンにおいては、タッチパネルから設定、登録することができます。

  4. 4.省フットプリントかつ高性能

    高性能な機能を持ちながら、コンパクト設計。空間を有効に活用し、作業の効率化が図れます。
    ※パッケージ基板の特殊マウント対応も可能です(特殊仕様)。

オプション

  • 静電気除去装置
  • 上面カバー
  • ウェハ位置決めピン

対応テープ

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