1．理想的なテープ剥離を実現

BG用表面保護テープをウェハから剥離する際に理想的な180°ピール方式を採用。ウェハにかかるストレスを最小限に抑えてテープの剥離を行うため、薄型ウェハの処理にも対応します。

2．ウェハ回路面へのダメージを低減

BG用表面保護テープ剥離時に用いる剥離用テープは、ウェハ外周3mm以内の表面保護テープ上に熱圧着されるため、剥離用テープ貼付によるウェハ回路面へのダメージ、のり残りを低減します。

3．優れたコストパフォーマンス

ウェハサイズが変わっても剥離用テープの使用量は常に一定で経済的。また剥離用テープは熱圧着タイプのため、BG用表面保護テープ上に残ったシリコンダストの有無にかかわらず確実な貼付が可能です。

4．UVの照度、光量を自動コントロール

内蔵センサーにより、UVの照度、光量を一定に保つようフィードバック制御を行います。これによりランプ寿命まで照度を一定に保つことができ、UV硬化型BG用表面保護テープを使用した際にも、安定したテープ剥離が行えます。