为您提供各种设备。
紫外线照射机
（300mm半自动紫外线照射机）
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1．与本公司原有的300mm半自动紫外线照射机相比，
- 占地面积约缩小16.5％
- 将操作面板集中至左侧，提高设备的可操作性
- 触控面板以角度(45°)进行安装，提高可识别性（符合SEMI标准）
- 可同时照射2片150mm晶圆用晶圆环（选配）
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2．实现高精度的照度进行照射
因为使用了高频转换器来控制，因此可实现高精度且稳定的紫外线照射，达到最佳照度和光照强度。
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3．利用实时监控实现照度自动控制
利用内置传感器进行监控，以保持紫外光恒定输出。通过这种控制方法，可以保持紫外线灯恒定照度直至达到使用寿命，可以实现定量化管控的半导体生产。
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4．单按键使操作更加便捷
采用中部加载方式，让操作性和稳定性得到进一步提升。作业效率也进一步提高。
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5．高效率的正面区域均匀照射
通过可以充加氮气的照射腔体运动，可以实现整面均匀照射。而且可以根据晶圆尺寸和种类等各项条件自由调节照射速度。
