1．高产能

通过优化传输单元实现了高产能。
※与以往机型相比，单位小时产能增加20%。 （基于使用8英寸晶圆时生产时的数据。实际的单位小时产能会根据胶带贴膜和剥离参数而有所不同。）

2．减少胶带的损耗

通过使用新型的切割胶带预切割系统，可以进一步减小胶带的间距，从而减少胶带损耗。
※胶带间距比较（采用胶带预切割方式）：传统型号胶带间距=10mm → 新型号胶带间距=2mm。

3．薄型/翘曲晶圆兼容性

可处理厚度为50μm的晶圆。工作台有安装翘曲校正机构，可对应最大5mm的翘曲晶圆
※ 晶圆电路面朝上时≤5mm，晶圆电路面向下时≤3mm
※ 数据基于8英寸晶圆

4．内置视觉系统, 进一步减少设备占地面积

视觉系统不是一个外置的, 单独的机构，而是集成在机器内部，与传统型号相比，占地面积减少了 25%。

5．改进的ESD性能

10秒内可将晶圆和工作区域的静电降低至±100V以下。
选项：静电平衡电压低于±50V。
※所示值为测量值，不作为保证用途。