多彩なテープをご用意しています。
BG用表面保護テープ
(Non-UV型BG用表面保護テープ)
通常プロセス
-標準研削(ウェハ厚み>100 μm )-
表中の数値は測定値であり、保証値ではありません。
P-4205B | ||
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総厚(µm) | 205 | |
外観 | 青色 | |
テープ構成 | 基材(µm) | PO 165 |
粘着剤(μm) | 40 | |
粘着力*1 (mN/25 mm) |
UV照射前 | 2440 |
*1: 剥離速度=300 mm/min, 剥離角度=180deg., 被着体=Si ミラーウェハ
通常プロセス
-薄研削(ウェハ厚み>50 μm )-
表中の数値は測定値であり、保証値ではありません。
P-4140A | P-7125 | ||
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総厚(µm) | 140 | 125 | |
外観 | 無色半透明 | 青色 | |
テープ構成 | 基材 (μm) | PO 120 |
特殊エラストマー 105 |
粘着剤 (μm) | 20 | 20 | |
粘着力*1 (mN/25 mm) |
UV照射前 | 780 | 2840 |
備考 | 反り低減 |
*1: 剥離速度=300 mm/min, 剥離角度=180deg., 被着体=Si ミラーウェハ