多彩な装置をご用意しています。
バーコード&ビジョンシステム (300mmバーコード&ビジョンシステム)
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1.IDナンバー読み取り位置、ラベル貼付位置が自由自在
3軸(X、Y、θ)ロボットの採用により、ウェハID読み取り位置およびバーコードラベル貼付位置の設定が容易に行えます。
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2.優れたビジョンシステム
より高度な画像処理を必要とするユーザーのための、高速・高機能システムです。ノイズの多い画像でも高精度なウェハIDの認識が可能です。
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3.既存ラインへの導入が容易
スンタンドアローンシステムなので、既存ラインへの導入が容易に行えます。
オプション
- ホストコミュニケーション機能
通信方式:SECS-I、HSMS準拠、
ソフト:GEM準拠